Samkvæmt framboðsaðferð miðilsins er cryopumpum skipt í eftirfarandi gerðir:
Geymslutankur frostdæla: lághitamiðill (fljótandi helíum) er sprautað beint inn í geymslutankinn í dælunni til að þétta gasið til að ná þeim tilgangi að dæla.
Kostir geymslutanksins cryopump eru að dælan er lítil í stærð, enginn titringur, enginn hávaði og auðveld í notkun.
Ókosturinn við geymslutankinn er sá að rekstrarkostnaðurinn er hár, notkunartími hverrar fyllingar á lághitamiðlinum er stuttur og tómarúmskerfið sem þarf að starfa stöðugt í langan tíma þarf að endurnýja vinnuna reglulega. miðlungs, og takmarkast af framboðsskilyrðum lághitamiðilsins.
Process cryopump: Cryopanel kælipípan í dælunni er tengd við kæliþenslubúnaðinn og kryógenmiðillinn (gas helíum) er veittur til cryopumpunnar í gegnum ytri leiðsluna, gleypir hitann frá cryopanel og fer síðan aftur í kæliþjöppuna til að mynda lokaða hringrás. Rúmmál dælunnar er gríðarstórt, leiðslan er flókin og kælitap leiðslunnar er mikið.
Kosturinn við vinnslukrýdæluna er að hún hefur mikinn kælikraft og hentar best til að fjarlægja loftrúmmál eða stórt lofttæmishólf.
Lítil kæliskápur: Krýdæla fyrir litla ísskáp með lokuðum hringrás samanstendur af lághita dælu, loftútdráttarspjaldi, geislavarnarplötu, ísskáp og þjöppu.
Stærsti munurinn á frostdælu litla kæliskápsins og frostdælu ferlisins er að fyrsti og annar köldu höfuð kæliskápsins er beintengdur við geislaskjáinn og köldu plötuna og flæðið í tengileiðslunni milli kæli og þjöppu er eðlilegt hitastig, hátt (eða lágt) hitastig. ) þrýstingsgasmiðill, það er engin flutningsvandamál lághitamiðils og það hefur kosti vinnslukrýdælunnar og geymslutanksins. Það er tilvalin hrein ofurhá lofttæmisdæla eins og er.
Lítil kælikælidælur eru mikið notaðar í þunnfilmugerð, öreindatækni, háorkueðlisfræði, litlum hringdeyjabúnaði og öðrum iðnaðarsviðum.