Kryódæla er lofttæmdæla sem notar yfirborð við lágan hita til að þétta gas, einnig þekkt sem þéttisdæla. Kryódælan getur fengið hreint lofttæmi með hæsta dæluhraða og lægsta endanlegu þrýstingi og er mikið notað í rannsóknum og framleiðslu á hálfleiðurum og samþættum hringrásum, svo og sameindageislarannsóknum, lofttæmihúðunarbúnaði, lofttæmi yfirborðsgreiningartækjum, jónum. ígræðslutæki og geimlíking. tæki o.fl.
Dælingarregla Krýdælan er búin köldu plötu sem er kæld niður í mjög lágt hitastig með fljótandi helíum eða ísskáp. Það þéttir gasið og heldur gufuþrýstingi þéttivatnsins undir endanlegum þrýstingi dælunnar til að ná dæluáhrifum. Helstu hlutverk lághita dælingar eru lághitaþétting, lághitaaðsog og lághitafanga.
cryopumpa
① Lághitaþétting: gassameindir þéttast á yfirborði köldu plötunnar eða á þétta gaslaginu og jafnvægisþrýstingurinn er í grundvallaratriðum jafn gufuþrýstingi þéttivatnsins. Þegar vetni er dælt er kalda plötuhitinn lægri.
②Lághitaaðsog: Gassameindirnar eru aðsogaðar á yfirborði aðsogsefnisins sem er húðað á köldu plötunni með þykkt eins sameindalags. Jafnvægisþrýstingurinn fyrir aðsog er mun lægri en gufuþrýstingurinn við sama hitastig.
③Cryogenic gildra: Gassameindir sem ekki er hægt að þétta við útdráttshitastigið eru grafnar og aðsogast af vaxandi lagi af þéttanlegu gasi.