Cryopumps eru einnig mikið notaðar í lífi nútímans. Margir hafa kannski ekki heyrt um cryopumps. Cryopumps eru tegund af lofttæmdælu sem notar lághita yfirborðsþéttingargas. Kosturinn er sá að dæluaflið er mest. Í dag skulum við kíkja á frostdælur Hvernig dælan virkar.
Vinnureglan í cryopumpunni er að nota gasið til að aðsogast líkamlega á yfirborðið með ofurlítið hitastig til að ná fram þreytandi áhrifum. Það er áhrifarík og fljótleg aðferð til að fá hreint tómarúm.
Krýdælan getur náð mjög háu lofttæmi (10-11Pa) og hefur þá kosti að vera hraður útblásturshraða, engin olía og ótakmarkað uppsetningarstefna.
Á fyrsta stigi köldu stigi frystidælunnar er hlífðarhlíf og skífa stillt og hitastiginu haldið við 80K. Auka kælistiginu var haldið við 15K, og frystihlíf og virkt kolefnisaðsogsefni var sett á það.
Vatnsgufa er storknuð á 80K hlífinni og 80K skífunni; köfnunarefni, súrefni og argon eru storknuð á 15K frystihlífinni; vetni, helíum og neon aðsogast á aðsogsefnið inni í 15K frystihlífinni. Krýdælan getur útblásið allar lofttegundir, en ef magn aðsogaðs gass er of mikið mun útblásturshraðinn minnka. Í þessu tilviki er nauðsynlegt að hita cryopumpuna, losa frásogað gasið og nota það aftur.
Cryopump eiginleikar
Kryódæla er lofttæmdæla sem notar lághita yfirborð til að þétta gas, einnig þekkt sem þéttisdæla. Kryódælan getur fengið hreint lofttæmi með hæsta dæluhraða og lægsta endanlegu þrýstingi og er mikið notað í rannsóknum og framleiðslu á hálfleiðurum og samþættum hringrásum, svo og sameindageislarannsóknum, lofttæmihúðunarbúnaði, lofttæmi yfirborðsgreiningartækjum, jónum. ígræðslutæki og geimhermunartæki osfrv.
Krýdæla er lofttæmdæla sem notar þéttingaráhrif kæliflöts við mjög lágan hita (Minna en eða jafnt og 77K) til að fjarlægja gas úr kerfinu. Síðan 1960 hefur frostdæling verið meira og meira notuð við öflun og beitingu lofttæmis.
Kryopumpa er hrein tómarúmdæla. Vegna þess að kælimiðillinn er aðeins kælimiðill sem kælir sogflöt dælunnar og er geymdur eða dreift í lokuðu íláti, hefur það ekki snertingu við lofttæmisrýmið. Þessi eiginleiki er mikilvægur fyrir ákveðin tómarúmskerfi sem krefjast hreins, olíufrís tómarúmskerfis.
Cryopumps geta náð mjög lágum hlutaþrýstingi og mjög háum dæluhraða fyrir flestar lofttegundir. Þegar frystidælan vinnur í fljótandi helíummiðli hefur hún einnig þá kosti að vera mikil raunveruleg dælingargeta og ósértæk dæling (nema helíum).
Cryopumps gegna mikilvægu hlutverki í rannsóknum og framleiðslu á hálfleiðurum og samþættum hringrásum, sameindageislarannsóknum og öðrum sviðum. Það er hrein tómarúmdæla. Ofangreint snýst allt um vinnuregluna um cryopumps.