Cryopumps eru gerðar í samræmi við meginregluna um gasþéttingu, cryogenic aðsog, cryogenic gildru eða sog til að fá lofttæmi.
1. Samkvæmt vinnuþrýstingi dælunnar er hægt að skipta henni í cryopump fyrir stöðugt flæðisvið, cryopump fyrir sameindaflæðissvið, venjulega þéttivatnsdælu auk aðsogsstigs eða cryogenic handfangastig.
2. Samkvæmt kæliaðferðinni er hægt að skipta henni í geymslugeymi cryopump, uppgufunar cryopump og kæli cryopump. Meðal þeirra nota geymslugeymirinn og uppgufunarkrýdælan báðar fljótandi kælimiðil til kælingar, yfirborð kælihlífarinnar er almennt notað fljótandi köfnunarefni og frostyfirborðið er almennt notað fljótandi helíum eða gashelíum til kælingar. Vegna eldfima, sprengihæfni og hás verðs á fljótandi vetni er það enn sjaldan notað þrátt fyrir meiri uppgufunarþarm en fljótandi helíum.
Kælikæliskápar eru almennt notaðir af Gifford. McMahon gerð (vísað til sem GM ísskápur) og Stirling gerð (vísað til sem St ísskápur). Fyrir kælifrystidælur með miklum dæluhraða er hægt að nota fljótandi helíum hitastigs ísskáp og stilla JT loka til að mynda kælibúnað fyrir vökvahringrás og stundum er fljótandi köfnunarefni í vökvageymslutanki eða köfnunarefnisfljótandi vél notað til að kælið skífuna og hlífina.
Helstu afköst cryopump
①Hærri en dæluhraðinn, betri en allar aðrar gerðir af dælum.
②Það eru engar takmarkanir á löguninni, það er hægt að dýfa því í lofttæmishólfið eða festa það á vegg lofttæmishólfsins með flans.
③ Það getur veitt alveg hreint tómarúm án mengunar á tómarúmskerfið.
④ Hægt er að fá lofttæmisstig af mjög lágum þrýstingi, eins og fyrir neðan 10-12Pa. Þar að auki er rekstur frystidælunnar áreiðanlegur og þegar dæluhraðinn er tiltölulega mikill er rekstrarkostnaður fjárfestingarinnar lægri en hefðbundinnar tómarúmdælu og auðvelt er að átta sig á sjálfvirkni.